Objemová analýza
analýza kovů a slitin,
legující prvky i příměsi
Analýza hloubkových koncentračních profilů
povlaky, tenké vrstvy, povrchově modifikované materiály
vrstvy oxidů, nitridů, karbidů apod., včetně nevodivých vrstev
analýza lehkých prvků (H, O, N, B) a jejich rozložení s hloubkou
Rozsah
Je možné analyzovat většinu prvků periodické tabulky. Koncentrační rozsahy, přesnost a správnost závisí na konkrétní kombinaci analyzovaný prvek-matrice a na dostupnosti příslušných referenčních materiálů pro kalibraci.