Fyzikální ústav Akademie věd ČR

Vzorek určený k analýze má funkci katody v doutnavém výboji v argonu. Atomizuje se katodovým rozprašováním (sputtering). Rozprášené atomy vzorku se ve výboji excitují a ionizují. Při deexcitaci pak emitují charakteristické záření, které se analyzuje optickým spektrometrem. Intenzity vybraných spektrálních čar přítomných prvků odrážejí jejich koncentrace ve vzorku a závislost těchto intenzit na době od začátku rozprašování odráží hloubkové rozložení těchto prvků. Při analýze nevodivých vrstev se místo stejnosměrného výboje používá výboje vysokofrekvenčního, přičemž energie z generátoru se do výboje dostává kapacitní vazbou. Metoda se používá jako relativní. Před analýzou je tedy třeba provést kalibraci, tj. stanovit, jakou úroveň signálu generuje určité množství daného prvku. Ke kalibraci se používají referenční materiály se známým složením a v případě analýzy hloubkových profilů i se známou rozprašovací rychlostí. Detekční limity se pohybují od zlomků ppm (parts per million 1 ppm =10^-4%) do desítek ppm pro většinu prvků. U prvků jako je vodík, dusík, kyslík jsou detekční limity horší.