Velikost a tvar vzorku
Na analyzovaném povrchu musí existovat rovná plocha o minimálním průměru daném velikostí těsnícího o-kroužku spektrálního zdroje (typicky 13 mm). Skutečně analyzovaná plocha má tvar kruhu s průměrem 4 mm (výjimečně 2.5 mm).
Vzorek musí vydržet mechanické namáhání způsobené atmosférickým tlakem po vyčerpání výbojky. U tenkých plechů je třeba zabránit významnému prohnutí vzorku např. přilepením na tuhou podložku.
Obvykle se provádí vždy několik opakovaných měření na daném vzorku, pro ověření opakovatelnosti a odhad nejistot výsledných koncentrací.
U hloubkových profilů to předpokládá větší rozměry vzorku, protože analýza GD-OES je destruktivní a hloubkově rozlišená analýza provedená na už dříve analyzovaném místě by neměla smysl.
Při plánování experimentů počítajících s analýzami GD-OES je vždy výhodné počítat se sérií vzorků lišících se nějakým parametrem, aby bylo možné sledovat případné změny složení v závislosti na tomto parametru.